用于真空干燥設備的真空系統經常會出現上述引起真空泵損壞的現象。因為真空干燥處理的目的就是為了排除水蒸氣。另外，被干燥的材料或產品在干燥前的儲運及制造過程中以及真空罐本身在敞口期間，難免帶進不少粉塵和顆粒狀雜質。在真空系統處于高壓力抽氣階段時，這些雜質有可能被湍流狀氣流帶進真空泵的泵腔內。
為了避免出現由于上述原因而導致機械真空泵損壞，除了要求在工藝過程中盡量使真空系統清潔外，可在真空泵的進氣口安裝過濾網，阻擋從進氣口可能進入到泵腔的雜質污物。在泵的進氣口處設置捕污腔，防止萬一泵進氣口的網破壞或別的原因使污物進入進氣口，也只能落在捕污腔中，而不會進入到真空泵腔內。
為防止泵油中的粉塵、顆粒物質隨泵油一起進入泵腔，對某些工藝過程，在泵運轉過程中應設有連續泵油過濾裝置。灰塵、雜質及被污染的油沉入主油箱底部后，通過回油管流入副油箱經過分離、沉淀，乳化后的油、水、灰塵和雜質沉入副油箱底部由排放閥定期放出，而相對干凈的油則由設于副油箱中上部的過濾器過濾后經進油管進入分油腔后供給端蓋和泵腔工作。
過濾器內的過濾芯在油經過時擋住了機械污染物，凈化了泵油。在過濾器上常常設置壓力表以顯示過濾器是否堵塞。當壓力增加，油不能正常流動時，即為過濾器堵塞，應更換或清洗過濾芯。
旋片式真空泵一般每周檢查一下油量。換油的時間間隔依工作條件而定。一般因油潤滑不良、油分解或污染物太多使泵極限壓力上升時，就需要更換油了。
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