（1）氣流
真空系統用真空泵抽氣，氣體經管道流到泵里。抽氣不斷進行，系統中的壓強由高而低，氣體分子的自由程由小而大。由以分子間碰撞為主逐漸改變為以分子與器壁碰撞為主。在此過程中氣流性質出現階段性的轉變。成黏滯流(湍流、層流)，黏滯-分子流(又稱過渡流)和分子流，不同性質的氣流流過真空系統的阻力各異.
（2）層流
氣體分子間的碰撞數多于與容器壁的碰撞數，內摩擦力起主要作用，氣體的黏度影響著流速，氣體的流線呈直線，層流管壁附件的氣體幾乎不動，管道中心的流速最大。
（3）分子流
氣體分子的內摩擦力已不存在，這時氣體分子獨立而自由地通過管道的氣體量與管道兩端的壓差成正比。
(4)黏滯-分子流
界于黏滯流與分子流之間的氣流，除發生氣體內摩擦之外還有個別分子獨立的(無碰撞的)熱運動的氣流。
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