電子能譜儀對真空泵中真空度的要求是目前所有大型分析儀器中最高的，一般要優于10-7Pa以上，一方面是因為樣品發射出的光電子能最很低，為了減少電子向檢測器運動過程中與殘留氣體發生碰撞而損失信號強度，要求整個能譜儀各部件都處于真空條件;另一方面電子能譜儀是一種表面分析技術，從樣品中發射出的攜帶樣品信息的光電子通常來自表面層幾十個原子層厚度，因此需要提供一個原子數址級的清沽表面并能在一定時間內保持這個清潔度，任何表面的沾污都將對分析產生不利的影響。很顯然，樣品表面受污染的程度與環境真空度有關，當真空度為10-5Pa時，3s內樣品表面便會吸附一層氣體分子，而當真空度為10-7Pa時，吸附一個單分子層則需約lh，這個時間已能滿足分析的要求.一個好的真空系統應能滿足高真空度(10-7Pa)、抽氣速率大、工作時噪聲小、無振動、能烘烤等要求。目前用得較多的真空泵有油擴散泵、渦能分子泵、升華鈦泵等。
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